第241章 MPCVD

如此,」潘詩妍補充道,「由於金剛石帶隙很寬,在半導體領域中,既能作為有源器件材料,像場效應管和功率開關,也能作為像肖特基二極體這樣的無源器件材料。」

    頓了頓,她看著陳舟又問道:「你剛才說金剛石是一種寬禁帶高溫半導體材料,怎麼看出來的?」

    陳舟看了潘詩妍一眼,想了想,既然你打開了話題,那我就不客氣了。

    陳舟便說道:「金剛石的帶隙寬度是5.5eV,它的高載流子遷移率在4500cm2(V·s),空穴為3800cm2(V·s),高熱導率在22W(cm·K),高擊穿電場在10MVcm。」

    「而其電子載流子飽和速率在1.5×10^7到2.7×10^7cms之間,空穴載流子飽和速率在0.85×10^7到1.2×10^7cms之間,低介電常數是5.7。」

    「基於這些優異的性能參數,金剛石被認為是製備下一代高功率、高頻、高溫及低功損耗率電子器件最有希望的材料。」

    說完這些,陳舟停頓了一下,又繼續說道:「雖然金剛石的儲量非常稀少,但是上世紀50年代,人們便已經用石墨合成了人造金剛石。」

    「而且人造金剛石和天然金剛石的結構相同、性能相近,也就很好的解決了金剛石來源的問題。」

    「此外,上世紀80年代,通過建立熱絲化學氣相沉積裝置,也就是HFCVD法,已經能夠在非金剛石襯底上製備金剛石薄膜。到了90年代中期,金剛石膜沉積理論已經相對完善了。」

    「雖然後來在20世紀末到21世紀初的時候,受到製備方法的制約,金剛石膜的研究不太順利,但隨著重複生長法、三維生長法及馬賽克法的出現,促進了大尺寸金剛石製備的發展。」


    隨著陳舟的敘述的聲音,他身旁的沈靖已經目瞪口呆了。

    好傢夥,你真的是我們數學專業的嗎?

    不是,你真的是我們物理和數學專業的嗎?

    這怎麼化學方法都這麼熟悉?

    當然,更令沈靖驚訝的是,這些內容,他怎麼沒在文獻上看到?

    不管是四十三所發的課題資料,還是陳舟給他發的課題資料,都沒有……

    除了沈靖外,原本正在做實驗的研究員們也是一臉驚訝的回頭看著陳舟。

    你們不是說找的是燕大數學系的人來幫忙嗎?

    我怎麼看這像是化學系的?

    而問問題的潘詩妍,也同樣被陳舟這流利的敘述給驚到了。

    原本想著給兩個新人上上課的她,卻沒想到被陳舟給重新上了一遍課。

    陳舟看了眾人一眼,緩緩將目光落在實驗裝置上,輕聲說道:「你們採用的製備金剛石薄膜的方法,應該是微波等離子體化學氣相沉積裝置,也就是MPCVD法。」測試廣告2



  
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