測試廣告1在王昊天的眼前，有一個白色的大殼子，上邊打著智慧殿堂的標誌，現在智慧殿堂的logo已經確認了，就是一個仿古的有菱角的殿堂！
這就是小芳製作出來的光刻機。大筆趣 m.dabiqu.com
看見王昊天專注的眼神，小芳略微有些得意：「我已經按照你的吩咐儘可能地降低配置了。」
說到這裡小芳情不自禁地瞥了一下嘴巴：「你們星球上的科技真的是低！」
「首先是雷射發射器，因為是製作45納米的光刻機，不能用可見光，也不能用紫外光，我們採用的是深紫外光，也就是所謂的DUV!」
「準確的說是ArF準分子雷射，這種光的波長雖然是193納米，但是可以等效為134納米。」
「就算是DUV光刻機，也是可以分為兩種的，一種是干分式的，另一種就是液浸式的，我們這一台選擇的是浸透式的，浸透式的光刻機在理論上在製造晶片的時候經過多重曝光之後工藝可以達到驚人的7納米！」
「但是幾乎沒有人才有DUV光刻機生產7納米的晶片，因為每多增加一次曝光，那麼生產晶片的難度增加，良品率也不能有效的保證，種種因素結合在一起，就導致了成本大大增加！」
根本就不划算！
商人以追逐利益為目標，這和本心背道而馳！
自然不會有人採用！
除非出發點不是為了賺取利潤！
「所以根據我們的實際情況，只要製造的晶片在於10納米以下，那麼我們就必須要考慮極紫外光了，也就是所謂的EUV光刻機。」
「不過……」說到這裡，小芳撇了撇嘴巴：「以我們的光刻機進展速度，距離製造EUV光刻機最起碼還需要三年呢！」
聽後王昊天點了點頭，現在他的目標就是製造45納米的光刻機，現在上城微電子設備公司已經可以可以量產90納米的光刻機了。
從90納米的光刻機提升到62納米的光刻機難道是不大的，可以這麼說，從90納米提升精度，只要不到45納米都是比較容易做到的，一直到45納米這是一個技術關卡！
至於45納米之後還有28納米的，26納米的，22納米的……一直到10納米，7納米，5納米等等……
目標我們這顆星球上能實現量產的也就是5納米的罷了！
小芳繼續說道：「ArF準分子雷射被雷射發射器發射出來之後，光束有些偏差，這個時候必須經過光束矯正器進行矯正，你們星球上一般需要3個光束矯正器才能矯正出來自己需要的，而我在你們技術上經過改良優化，現在僅僅需要兩個光束矯正器就可以了。」這裡小芳有些得意，好像自己進行了降維打擊。
「還有，被矯正的光束能量還需要控制，這時候就需要能量控制器了，我們可以依靠能量控制器，控制光束之中的能量大小，我們想要大就要大，想要小就要小，完全在我們的掌控之中呢！」
「能量大小被我們控制了之後，我們還要控制光束的形狀！這時候就需要光束成型裝置了。」
小芳耐心地給王昊天解釋著，還把光刻機打開，一邊講解著，一邊給王昊天指出來儀器所在的具體位置：「光束成型裝置裡邊又包括著光束形狀設置以及遮光器。已經確定形狀和能量大小的光束在出了形狀成型裝置之後，還要經過一次能量檢測器檢查一次！」
「緊接著光束就會以圓柱形狀照射在光掩膜台上，光掩膜台上放著由晶片設計公司做好的光掩膜！」
「在光掩膜台上和曝光台之間還會有一個凸透鏡！」
「光束透過掩膜上的空隙，再經過凸透鏡折射到曝光台！在曝光台上會放著已經塗好光刻膠的矽晶圓片！」
「我這麼簡單地說了一下你能聽明白嗎？」小芳微笑著看了一眼王昊天。
王昊天點了點頭：「原理我還是能聽明白的。」
很誠實！
說到這裡，王昊天笑了笑：「不過要真的做出來，我還得靠你了。」說這一句話王昊天也不覺得丟人，在他的理念里小芳能做出來的東西就是他的東西，大家不
第127章 DUV光刻機
